实现起来却不简单，毕竟这是两个工件台的协同配合，而且要保持高速运动下的05微米的运动精度——其难度相当于在两架并肩飞行的飞机上，其中一架飞机伸出一根杆子，在对面的机身上刻05微米大小的字。

　　至于为什么曲慧会在取得如此的成果后依旧保持冷静乃至忧虑……苏远山完全能够理解。

　　因为曲慧刚出校门就进入了远芯，亲自参加了EDA的诞生，又亲眼见证了远芯在各个领域的崛起。

　　说白了，就是曲慧所参与，所看到的，全是世界顶级的技术成果。

　　双工件台虽然出来了，却无法给国产光刻机带来本质上的技术飞跃。

　　她不甘心。

　　“这样，曲慧姐，我给你指一条方向。”苏远山不知道双工件台技术接下来要具体往哪一边走，但苏远山却知道双工件台的未来在何方。

　　“嗯？你说什么方向。”

　　“目前工件台的最大难点还是在于高速运动下所导致的一系列麻烦，所以……如果要把目光瞄准到十年，二十年之后，瞄准到纳米级精度的话，我认为，只有一条路，就是磁悬浮。”

　　“磁悬浮？”曲慧闻言一怔，直愣愣地望着苏远山。

　　郑振川也惊讶起来：“小山，磁悬浮能用在工件台上？”

　　“不是磁悬浮能用在工件台上，而是工件台要摆脱摩擦和阻尼的桎梏，实现超精密运动控制，在现有的自然科学和机械空城的框架下，就只有磁悬浮这一条路。”

　　曲慧沉默数秒后慢慢点头，喃喃道：“是了，磁悬浮技术可以最大作用地发挥我们的运动控制模块的优势，避开短板。”

　　“可是，那个难度怕是有点大吧？现在有没有超精密的磁悬浮运动控制案例和方案？”郑振川则想了想，迟疑地问道。

　　“不知道，但管他呢！”曲慧吸了口气，整个人瞬间振奋了起来，望向苏远山道：“小山，你真觉得那是个方向？”

　　“我能想到的唯一方向。”苏远山郑重点头。

　　有了新方向的曲慧再无心交谈，转而去苏远山的书架翻了一本物理书来看。

　　见曲慧这模样，苏远山也在心里暗暗发笑——曲慧别看已经三十岁了，可长期以来身处科研一线，身份身家都无与伦比，以至于心态还是小姑娘心态。

　　“郑叔，怎么说？”苏远山起身给郑振川斟满茶水，笑呵呵地问道：“你别告诉，你是来推销光刻机的。”

　　“嗯，还真是。”郑振川从刚才苏远山口中的磁悬浮工件台的设想中回过神来，笑着道：“我们拿到了蔡司的镜头和Cyr的KrF光源，接下来就能量产最低018微米工艺节点的光刻机了。”

　　“我靠！”

　　苏远山眼珠子一瞪，差点没从沙发上弹起来：“怎么拿到的？”

　　“呵呵，别激动。”郑振川好整以暇地抿了一口茶：“怎么样，要不要来两台？”

　　“等等！”苏远山马上便清醒过来：“别拿空头支票来忽悠我，先说清楚，什么时候可以可以出厂。”

　　“最多半年。”

　　听到这个半年，苏远山又默默地算了一下自家光源的时间，这才慢慢平静下来，笑着骂了一句：“NND，帝国主义亡我之心不死。”

　　“是啊……但这样好歹能把咱们的光刻机与尼康佳能的距离缩到只有一代了，对吧？”

　　“嗯，这倒是。”

　　苏远山含笑望着郑振川，突然越看越觉得这老头有点像“买办”了。

　　很显然，在这个时候，蔡司和Cyr突然对国产光刻机放行，除了有霓国同行的竞争之外，还有就是有把国内的光源和镜头技术“扼杀”在摇篮的想法。

　　要知道，他们给的光源和镜头，可不是最先进的……

　　Cyr都已经搞出193的ArF了，正在想搞EUV或者F2呢。

　　“不过郑叔，我们已经预定了尼康最先进的DUV光刻机，他们的节点可是能够到65纳米。”苏远山一耸肩，呵呵笑道：“差不多半年。”

　　“……”郑振川便带着一脸哀怨地看着苏远山：“当初你说好要支持的呢？”

　　“我当然一直都是支持的，但这事儿我做不了主啊郑叔。你不应该找我，而是应该去找德远的张博士。”

　　说着苏远山便疑惑起来：“不对，郑叔……无锡那么多晶圆厂，为什么你不去找他们？”

　　远芯在光刻机，晶圆厂的战略方向一直很明确，就是以保持制程和工艺的领先——换言之就是设备上不能落后。

　　光刻机自然要支持，甚至还要大力支持。但钱可以出，在有选择的情况下，买一堆落后的产品，这事儿却是不能干的。

　　国家也认同远芯的发展，因此从来把希望寄托在远芯身上，继而让华晶，华鑫，首晶等新老国有控股的晶圆厂大力采购国产光刻机，用以扶持。

　　所以郑振川找苏远山，是没找对门。

　　“因为每个企业都有追求。”这时曲慧抬起头，悠悠地来了一句。

　　苏远山便望向郑振川，只见后者的表情已经变得苦涩了起来。

　　郑振川沉默几秒后，发出了一声轻叹：“国外同行在今年开了不少口子，国内的晶圆厂，只要有钱，基本上都能买到KrF的光刻机……”

　　“现在国家上上下下都在讲市场化，就算上面再支持我们，也不可能说强制下行政命令让企业只买我们的光刻机吧？”

　　“而且……我们的光刻机……确实，我承认，稳定性比起国外同行差了一点。但我们起步晚，这是